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1.按洁净室结构分
1)乱流式
空气由空调箱经风管与洁净室的空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线性运动而呈不规则的乱流或涡流状态。此形式适用于1~10万级的洁净室。
定义:气流以不均匀速度不平行流动、伴有回流或涡流的洁净室。
特性:乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多,净化级别越高)
(1)自净时间:是指洁净室按设计换气次数开始送风到洁净室,室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。1000级希望不超过20min(可取15min计算);10000级希望不超过30min(可取25min计算);100000级希望不超过40min(可取30min计算)。
(2)换气次数(按上述自净时间要求设计):1000级43.5~55.3次/h(规范:50次/h);10000级23.8~28.6次/h(规范:25次/h);100000级14.4~19.2次/h(规范:15次/h)。
优点:构造简单,系统造建成本较低,洁净室扩充比较容易,在某些特殊场合,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。
缺点:乱流造成的微尘粒子在室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达到需求的洁净度,往往耗时相当长。
2)层流式
层流式空气气流运动呈均匀直线性,空气由过滤器(100%覆盖工作区)进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此形式适用于洁净室等级较高的环境使用,一般其洁净室等级为1~100。
其形式可分为两种
(1)水平层流式
水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁的回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染比较严重。
优点:构造简单,运转后短时间内即可稳定。
缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。
(2)垂直层流式
房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得到较高的洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可被快速排出室外而不影响其他工作区域。
优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易受作业状态或作业人员的影响。
缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板的吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。
  (3)复合式
复合式为将乱流式及层流式予及复合式或并用,可提供局部超洁净空气。
(1)洁净隧道
以HEPA(微粒空气)或ULPA(超低微粒空气)过滤器,将制程区域或工作区域100%覆盖,使洁净等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。
此形式需将作业人员工作区与产品和机器维修予以隔离,以免机器维修时影响工作及产品品质,ULSL制程大都采用此种形式。
优点:弹性扩充容易;维修设备时可在维修区轻易执行
(2)洁净管道
将产品流程经过的自动产生线包围并净化处理,将洁净度等级提高至100级以上。
因产品和作业Ryan及发生尘环境相互隔离,少量送风即可得到良好的洁净度,可节省能源,无须人工的自动化生产线为最适宜使用。药瓶、食品业界及半导体业界均适用。
(3)并装局部洁净室
将洁净室等级10000~100000的乱流洁净室内的产品制程区的洁净度等级提高到10~1000级以上,作为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
洁净工作台:等级1~100级。
洁净工作棚:为在乱流式洁净室空间内,为防静电可用透明塑料布围成一个小空间,采用独立的HEPA或ULPA及空调送风机组组成一个较高等级的洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5m左右,覆盖面积在10㎡以下,四支柱下加装活动轮,可弹性运用。
2.按洁净室用途分
  (1)工业洁净室

以无生命的微粒为控制对象。主要控制空气尘埃微粒对故障对象的污染,内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带产生)LCD(液晶玻璃)、计算机硬盘、计算机磁头生产等行业。
  (2)生物洁净室
主要控制有生命微粒(细菌)与无生命微粒(尘埃)对工作对象的污染。
(1)一般生物洁净室
主要控制微生物(细菌)对工作对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀,内部一般保证正压。实质上是其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业洁净室,如制药工业、医院(手术室、无菌病房)食品、化妆品、饮料产品生产、动物实验室、理化检验室、血站等。
(2)生物学安全洁净室
主要控制有生命微粒对工作对象的污染。洁净室内部要保持与大气的负压,应用于细菌学、生物学、洁净实验室、物物工程(重组基因、疫苗制备)等邻域。
3.洁净室等级
ISO/DIS 14644-1 洁净室和洁净区按空气中悬浮粒子浓度的分级,ISO 分级大于或等于以下表格所列粒子最大允许浓度,


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